Das Vakuumhärten ist besonders geeignet für hochpräzise Bauteile, die empfindlich auf Verzug reagieren. Hierbei wird Reinstickstoff als Abschreckmedium verwendet, was eine moderate Wirkung aufweist. In speziellen Vakuumanlagen erfolgt die Härtung von mittel- und hochlegierten Werkzeugstählen, Warm- und Schnellarbeitsstählen sowie martensitischen, korrosionsbeständigen Stählen bei Temperaturen von bis zu 1300°C.